SFD技術制備的顆粒粒徑一般小于5微米，有些甚至可達到納米級。影響粒徑分布的主要因素是料液的流速，即料液從噴嘴噴出的速度，增大流速可減小粒徑。同時使用噴嘴的類型也是影響粒徑分布的重要因素，一般有氣流式、壓力式和離心式3種霧化器，離心式霧化器可使粒徑達到比較小。

一般的SFD技術的主要過程是高壓氣體將藥物溶液經噴嘴噴出、霧化成為非常小的液滴并迅速進入裝有冷凍劑（液氮）或者鹵化碳制冷劑的噴霧箱或容器內。

在容器內的冷凍劑形成了一個相對較低的溫度環境，這種環境中的傳熱速率非常高，使小液滴在瞬間（毫秒級）凝固，完成噴霧后，需要進行真空冷凍干燥得到終產物。

在噴霧時噴嘴可位于低溫液體液面上方或者浸于低溫液體中，浸于低溫液體中的噴嘴要加裝一個保溫裝置來防止流過的溶液凝固而堵塞噴嘴。噴霧過程進行時，冷凍劑會不斷的揮發減少，需要不斷補充，特別是在長時間的、大體積的噴霧過程中。在冷凍劑中和磁力攪拌器來不斷的攪動，以防止新形成的冷凍顆粒凝結成大塊。